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金刚石半导体,日本又一重要突破

在宽禁带功率半导体持续升级的背景下,金刚石器件正逐渐从材料研究阶段进入工程化验证阶段。

近日,日本企业Power Diamond Systems宣布,其自主开发的金刚石MOSFET器件在单个器件中实现了550V击穿电压与0.8A漏极电流,并完成200V/1A开关操作。该成果在展示器件的静态性能的同时,更验证了金刚石功率器件在实际开关条件下的运行能力。

此次突破的核心在于器件结构设计。该公司团队在金刚石MOSFET中引入场板(Field Plate)结构,通过在栅极上方延伸电极重新分布电场,有效抑制栅极边缘的电场集中问题,从而提升器件的耐压能力。同时采用多指结构并扩大器件有效面积,使单个器件即可实现安培级电流能力,而不再依赖大量微型器件并联,使得器件在保持较高击穿电压的同时实现较大的输出电流。

从器件工程角度看,这一结果解决了金刚石MOSFET长期存在的两个关键问题。其一是栅极边缘电场集中导致的提前击穿,通过场板结构实现电场均匀化后,器件耐压能力明显提升;其二是电流能力受限问题,通过扩大器件面积和多指结构设计,单器件即可实现较高电流输出。更关键的是该器件还完成了200V/1A的开关测试,意味着金刚石功率器件首次在接近实际应用条件的电压和电流水平下实现稳定开关运行

对于功率半导体而言,静态参数往往只是第一步,真正决定应用价值的是动态开关性能。此前大量金刚石器件研究停留在击穿电压或导通特性测试阶段,而缺乏完整的开关验证。此次在同一器件上完成高电压开关实验,使金刚石MOSFET从单纯器件性能展示迈向系统级应用验证。

Power Diamond Systems近年来一直在持续推进金刚石功率器件的开发。2023年12月,该公司曾公布一种可处理6.8A电流的金刚石器件组件,并计划在未来几年内提供样品,意味着当时其研发路径正从单器件性能验证逐步向模块级器件开发延伸,为未来功率模块或系统级产品奠定基础。

从全球技术格局来看,日本在金刚石半导体领域已经形成较为完整的研究和产业探索体系。材料、晶圆、器件以及应用验证多个环节均有机构参与,其中较具代表性的企业是Orbray。2021年9月,Orbray与日本佐贺大学合作开发出超高纯度2英寸金刚石晶圆。

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Orbray公司与佐贺大学制造的2英寸晶圆


在此基础上,2022年5月双方又利用2英寸晶圆开发出一款功率器件,输出功率密度达到875MW/cm²,耐压高达2568V。这一结果显示出金刚石功率器件在高电压和高功率密度条件下的潜在能力,也为后续器件开发提供了关键材料基础。

在产业合作方面,Orbray也在推动金刚石功率半导体向汽车领域拓展。2023年5月,该公司与丰田集团旗下车载半导体研发机构Mirise Technologies签署合作协议,共同推进金刚石功率器件技术开发,这一合作也成为日本汽车产业开始关注金刚石功率器件的重要信号。

在应用验证层面,佐贺大学也在持续推进相关研究。2023年4月,该校开发出全球首个采用金刚石半导体器件的功率电路,实现了器件在真实电路中的运行验证。同年12月,该校教授Makoto Kasu进一步提出,将金刚石功率半导体应用于太空通信系统中的微波传输器件。

与此同时,日本还在推进金刚石半导体制造基础设施建设。初创企业Ookuma Diamond Device正在福岛县建设工厂,目标实现钻石半导体量产,并计划于2026年启动运营。

在制造装备环节,日本企业同样参与其中。精密设备制造商JTEC Corporation开发出电浆抛光高硬度材料表面的技术,并成功实现世界领先尺寸单晶金刚石基底的抛光加工。目前该公司已经获得用于金刚石材料加工的设备订单,为金刚石晶圆加工提供关键工艺能力。

相比日本已经形成较为完整的技术链条,我国在金刚石半导体领域仍处于由材料优势向器件技术延伸的阶段。

国内产业基础主要集中在超硬材料与培育钻石领域,围绕电子级金刚石材料,一批企业正在向半导体应用拓展。例如中南钻石、黄河旋风、四方达等企业,依托多年积累的人造金刚石制造能力,正在推进CVD金刚石材料、散热基板以及电子级单晶金刚石的技术研发,为金刚石半导体提供材料基础。

在器件研发层面,国内金刚石半导体仍以科研机构主导。包括中国科学院半导体研究所、中国科学院半导体研究所宁波材料所、吉林大学、北京科技大学、郑州大学等高校,长期开展金刚石外延生长、掺杂控制以及功率器件结构研究。此外部分企业也开始进入该领域,例如四方达子公司河南天璇半导体科技有限公司,正围绕金刚石功率器件和电子器件开展技术开发。

值得一提的是,由DT新材料主办的FINE2026未来产业新材料博览会即将于2026年6月10-12日在上海新国际博览中心举办,其中N1先进半导体展,河南天璇半导体科技有限责任公司将参展,展位号N1A20。欢迎行业伙伴、半导体企业前来参观、咨询、交流,共同探讨金刚石在先进半导体领域的最新应用与合作机遇!

整体来看,金刚石功率半导体仍处在从材料突破向器件工程化过渡的关键阶段。过去十多年中,相关研究主要集中在晶体生长、掺杂控制以及基础器件结构验证,而随着器件耐压、电流能力以及开关性能逐步得到验证,金刚石MOSFET等功率器件正开始进入更接近实际应用条件的实验阶段。与此同时,晶圆尺寸、缺陷密度、器件制造工艺以及成本控制仍然是制约其进一步发展的关键因素。随着晶圆制备技术、加工装备以及器件结构持续演进,金刚石半导体相关研究正在逐步从实验室走向工程验证阶段,其未来发展也将取决于材料制造能力与器件工艺体系能否实现同步突破。